通過對稱折疊梁彈簧解耦的單晶硅MEMS陀螺儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910057624.6 申請日 -
公開（公告）號 CN101957200B 公開（公告）日 2012-05-23
申請公布號 CN101957200B 申請公布日 2012-05-23
分類號 G01C19/5684;B81B7/02;G01C19/56 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鄒波 申請（專利權）人 丹陽深迪亞微電子技術有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 201203 上海市張江高科技園區(qū)晨暉路88號1號樓307室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種通過對稱折疊梁彈簧解耦的單晶硅MEMS陀螺儀，其包括定子和轉子，轉子包括單晶硅質(zhì)量塊、十六個對稱折疊梁彈簧和四組可動梳齒，十六個對稱折疊梁彈簧位于單晶硅質(zhì)量塊的周圍且與單晶硅質(zhì)量塊相連，四組可動梳齒分布在轉子的四周；定子包括四組固定式梳齒，四組固定式梳齒與轉子上的四組可動梳齒交叉并形成電容器。本發(fā)明陀螺儀通過對稱折疊梁彈簧結構有效解耦，同時單晶硅質(zhì)量塊關于中心對稱，可使整個結構達到在驅動和感應方向有相匹配的諧振頻率，在驅動方向有大諧振位移，感應模式下有高品質(zhì)因子，以及低機械串擾，從而達到高靈敏度和低噪音的目標。