壓電換能器制作方法及壓電換能器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110489575.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113381721A 公開（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113381721A 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) H03H9/17（2006.01）I;H01L41/083（2006.01）I;H01L41/09（2006.01）I;H01L41/27（2013.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 龔頌斌;加布里埃爾·維達(dá)爾·阿爾瓦雷斯 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 偲百創(chuàng)（深圳）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 劉佳妮
地址 518048廣東省深圳市福田區(qū)梅林街道梅都社區(qū)中康路136號(hào)深圳新一代產(chǎn)業(yè)園4棟15層1501-1503
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種壓電換能器制作方法及壓電換能器，首先在承載晶圓上制備底部聲學(xué)反射層，再在壓電晶圓上制備頂部聲學(xué)反射層，然后將底部聲學(xué)反射層遠(yuǎn)離承載晶圓的一側(cè)與頂部聲學(xué)反射層遠(yuǎn)離壓電晶圓的一側(cè)結(jié)合，最后減薄壓電晶圓，形成壓電換能器。承載晶圓起到承載作用，壓電晶圓被減薄而形成的壓電薄膜可以被激發(fā)聲振動(dòng)，頂部聲學(xué)反射層和底部聲學(xué)反射層可以限制聲學(xué)振動(dòng)，使得到的壓電換能器能夠在高頻下工作，采用該方法制成的壓電換能器具有特定的層疊組合和壓電薄膜,可以激發(fā)和支持高性能的聲學(xué)振動(dòng)模式,具有較低的固有損耗，能夠在保持單位面積的同時(shí)獲得更高的單位面積電容,從而使制成的壓電換能器工作性能佳。