壓電換能器的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110376688.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113270539A 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN113270539A 申請公布日 2021-08-17
分類號 H01L41/08;H01L41/312 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 龔頌斌;楊巖松 申請（專利權(quán)）人 偲百創(chuàng)（深圳）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 姚姝婭
地址 518048 廣東省深圳市福田區(qū)梅林街道梅都社區(qū)中康路136號深圳新一代產(chǎn)業(yè)園4棟15層1501-1503
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種壓電換能器的制備方法，包括：在壓電晶圓上形成與壓電換能器的預(yù)設(shè)方向平行或垂直的第一標(biāo)記；在承載晶圓上形成與承載晶圓的切割方向平行或垂直的第二標(biāo)記，第二標(biāo)記和第一標(biāo)記的形狀相同；將第一標(biāo)記和第二標(biāo)記對齊后鍵合壓電晶圓和承載晶圓，形成工藝晶圓，工藝晶圓具有壓電晶圓的第一表面用于形成壓電換能器。本申請通過壓電晶圓上的第一標(biāo)記和承載晶圓上的第二標(biāo)記使得壓電換能器的預(yù)設(shè)方向與承載晶圓的切割方向平行或者垂直，從而達(dá)到提高承載晶圓可用晶圓區(qū)域利用率的目的。