聲學(xué)諧振器的制備方法和聲學(xué)諧振器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110275987.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114285389A 公開（公告）日 2022-04-05
申請公布號 CN114285389A 申請公布日 2022-04-05
分類號 H03H9/17（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 龔頌斌;呂若辰 申請（專利權(quán)）人 偲百創(chuàng)（深圳）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 虞凌霄
地址 518048廣東省深圳市福田區(qū)梅林街道梅都社區(qū)中康路136號深圳新一代產(chǎn)業(yè)園4棟15層1501-1503
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種聲學(xué)諧振器的制備方法和聲學(xué)諧振器，所述聲學(xué)諧振器的制備方法，提供包括鈮酸鋰和鉭酸鋰中的一種的壓電襯底，并且于底電極層上沉積第一聲反射層，通過選擇壓電襯底的特定方向，采用上述聲學(xué)諧振器的制備方法制備的聲學(xué)諧振器可以被激勵為厚度方向剪切振動模式，由于該聲學(xué)諧振器采用更為優(yōu)越的厚度方向剪切振動模式并選用可以支持該振動模式的鈮酸鋰或坦酸鋰材料，因此，該聲學(xué)諧振器可以在3GHz以上的頻率下支持高機(jī)電耦合。