一種諧振器件及聲學濾波器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120382966.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214256261U 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN214256261U 申請公布日 2021-09-21
分類號 H03H9/25（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 龔頌斌;楊巖松 申請（專利權）人 偲百創(chuàng)（深圳）科技有限公司
代理機構 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 518000廣東省深圳市福田區(qū)梅林街道梅都社區(qū)中康路136號深圳新一代產業(yè)園4棟15層1501-1503
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型實施例公開了一種諧振器件及聲學濾波器。諧振器件包括晶圓襯底、壓電層以及叉指電極層；壓電層位于晶圓襯底的一側，壓電層包括壓電單晶材料，壓電單晶材料包括互相垂直的第一晶軸、第二晶軸以及第三晶軸；叉指電極層產生于壓電層內的電場方向為器件方向；其中，第一晶軸垂直于晶圓襯底，且器件方向與第二晶軸的夾角為角A1，?30°≤A1≤10°；或者，第一晶軸垂直于晶圓襯底，且器件方向與第二晶軸的夾角為角A2，170°≤A2≤210°；或者，第二晶軸與垂直于晶圓襯底的方向的夾角為角B1，?20°≤B1≤40°，且器件方向與第一晶軸的夾角為角B2，?20°≤B2≤20°；在保證諧振器件低制造成本的同時，提高了諧振器件的工作頻率及性能。