一種基于陶瓷玻璃微熔工藝的壓力傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910097303.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111504524A 公開(kāi)（公告）日 2020-08-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN111504524A 申請(qǐng)公布日 2020-08-07
分類(lèi)號(hào) G01L1/18;G01L9/06 分類(lèi) -
發(fā)明人 周志明;邢利陽(yáng) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 南京容宇儀器儀表有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 211162 江蘇省南京市江寧區(qū)濱江開(kāi)發(fā)區(qū)聞鶯路5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于陶瓷玻璃微熔工藝的壓力傳感器。所述傳感器由測(cè)壓端口、芯片、膜片、信號(hào)處理電路板、電連接組件，所述芯片與所述信號(hào)處理電路板鍵合連接，其特征在于，所述膜片為陶瓷膜片，所述芯片與所述陶瓷膜片通過(guò)玻璃微熔工藝連接；所述玻璃微熔工藝為所述芯片通過(guò)玻璃膠燒結(jié)于所述陶瓷膜片上；所述陶瓷膜片固定于金屬基座上；所述測(cè)壓端口與被測(cè)端口密封連接；所述信號(hào)處理電路板為柔性電路板或硬質(zhì)電路板。所述傳感器具有如下優(yōu)點(diǎn)：①采用玻璃微熔工藝的壓力傳感器，具有整體精度高，穩(wěn)定好等優(yōu)點(diǎn)；②采用陶瓷膜片，形變量較大，可以提高傳感器在低壓時(shí)的精度。