一種新型硅晶爐加熱結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621474791.2 申請日 -
公開（公告）號 CN206308448U 公開（公告）日 2017-07-07
申請公布號 CN206308448U 申請公布日 2017-07-07
分類號 C30B29/06;C30B28/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 郭艷峰;馮立學(xué);朱松濤 申請（專利權(quán)）人 河北寧遠新能源科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 071400 河北省保定市蠡縣東二環(huán)北路路東高新工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種新型硅晶爐加熱結(jié)構(gòu)，其包括保溫筒，在保溫筒內(nèi)設(shè)有生長爐底座，在生長爐底座中心處設(shè)有支撐柱，生長爐底座上設(shè)有多個加熱電極，各個加熱電極環(huán)繞支撐柱均勻分布，在生長爐底座上還設(shè)有第一測溫器和第二測溫器，位于生長爐底座上設(shè)有環(huán)形導(dǎo)軌，在環(huán)形導(dǎo)軌上配裝有半圓形的隔熱籠，在支撐柱的頂端設(shè)有高溫計，采用多測溫器同時工作，并且兩個測溫器相對稱，可以時時校對兩個測溫器的溫度，配合頂部的高溫計還可以實現(xiàn)整體溫度的把控，可以保證熱場均勻，加熱效果良好，可控性好。