一種新型硅晶爐加熱器裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621474781.9 申請日 -
公開（公告）號 CN206308447U 公開（公告）日 2017-07-07
申請公布號 CN206308447U 申請公布日 2017-07-07
分類號 C30B29/06;C30B28/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 趙亮;馮立學(xué);朱松濤;楊定勇 申請（專利權(quán)）人 河北寧遠(yuǎn)新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 071400 河北省保定市蠡縣東二環(huán)北路路東高新工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種新型硅晶爐加熱器裝置，屬于硅晶制備裝置領(lǐng)域，其包括第一U型臂和第二U型臂，第二U型臂的中心點(diǎn)樞接在第一U型臂的中心處，第二U型臂可沿著樞接點(diǎn)自轉(zhuǎn)，在第一U型臂和第二U型臂的內(nèi)壁上都設(shè)有多個側(cè)壁加熱電極，在第二的中心點(diǎn)出設(shè)有底壁加熱電極，雙U型臂可以達(dá)到任何所需求角度，U型臂剛好包裹坩堝，實(shí)現(xiàn)均溫加熱。