一種適用于VAD法沉積的噴燈

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910012989.0 申請日 -
公開（公告）號 CN109694185B 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN109694185B 申請公布日 2021-10-19
分類號 C03B37/014（2006.01）I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 金霧;田錦成;伍淑堅(jiān);梁后杰 申請（專利權(quán)）人 武漢烽火銳拓科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 邱云雷
地址 430000湖北省武漢市化學(xué)工業(yè)區(qū)北湖產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種適用于VAD法沉積的噴燈，包括燈體，燈體上開設(shè)有呈一字型的供料孔以及圍繞在供料孔外側(cè)的多層環(huán)形氣孔；多層環(huán)形氣孔的形狀與供料孔的形狀相適配，其包括從內(nèi)向外依次布置的內(nèi)層隔離氣孔、內(nèi)層火焰孔、外層火焰孔和外層隔離氣孔；內(nèi)層火焰孔包括內(nèi)層氫氣孔和內(nèi)層氧氣孔，外層火焰孔包括外層氫氣孔和外層氧氣孔；供料孔、內(nèi)層氫氣孔、內(nèi)層氧氣孔、外層氫氣孔和外層氧氣孔分別被分隔并形成多個(gè)支孔；支孔、內(nèi)層隔離氣孔和外層隔離氣孔分別連通有進(jìn)氣管道，進(jìn)氣管道上設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥。采用連續(xù)區(qū)域沉積，沉積端面更為平緩、均勻，有利于沉積端面的溫度控制；調(diào)節(jié)外層不同區(qū)域的氫氣流量，可以均勻溫度場，減少粉棒開裂、斷裂問題。