適用于OVD沉積設(shè)備的在線清洗系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010734185.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111921996A 公開（公告）日 2020-11-13
申請公布號 CN111921996A 申請公布日 2020-11-13
分類號 B08B9/032;B08B9/093 分類 清潔;
發(fā)明人 崔東明;孔明;伍淑堅 申請（專利權(quán)）人 武漢烽火銳拓科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 武漢烽火銳拓科技有限公司;烽火通信科技股份有限公司
地址 430000 湖北省武漢市東湖高新技術(shù)開發(fā)區(qū)高新四路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及適用于OVD沉積設(shè)備的在線清洗系統(tǒng)及方法，清洗劑儲罐上設(shè)有廢氣排放閥；第一管路兩端連通于清洗劑儲罐，沿清洗劑流向，第一管路上依次設(shè)有輸送泵、第一清洗劑閥和第二清洗劑閥，第一管路位于第一清洗劑閥與第二清洗劑閥之間的管段斷開，以形成分別連通蒸發(fā)器進(jìn)口和加熱料管出口的第一端口和第二端口；氣體吹掃裝置通過吹掃進(jìn)氣閥連接于第一管路上，并位于第一清洗劑閥下游；控制裝置與廢氣排放閥、輸送泵、第一清洗劑閥、第二清洗劑閥、氣體吹掃裝置和吹掃進(jìn)氣閥相連，并控制廢氣排放閥、輸送泵、第一清洗劑閥、第二清洗劑閥、氣體吹掃裝置和吹掃進(jìn)氣閥工作。本申請能解決相關(guān)技術(shù)中無法快速有效地清除粘稠硅油或彈性凝膠的問題。