光點(diǎn)差分式非接觸式元件厚度測(cè)量的光頭及厚度測(cè)量裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920987358.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210220983U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-03-31 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210220983U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-03-31 |
| 分類號(hào) | G01B11/06(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王善忠;曹兆樓 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 愛(ài)丁堡（南京）光電設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京中律知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 李建芳 |
| 地址 | 211123江蘇省南京市江寧區(qū)湖熟工業(yè)集中區(qū)波光路18號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光點(diǎn)差分式非接觸式元件厚度測(cè)量的光頭及包含它的厚度測(cè)量裝置。光頭的光學(xué)系統(tǒng)包括光源、分光鏡、第一聚光鏡、柱面鏡和相機(jī)；光源發(fā)出的光束經(jīng)分光鏡后，一部分光經(jīng)過(guò)第一聚光鏡聚成測(cè)量光點(diǎn)、落在被測(cè)元件表面；測(cè)量光點(diǎn)在被測(cè)元件表面反射，沿原光路返回，依次經(jīng)過(guò)第一聚光鏡、分光鏡和柱面鏡后，被聚焦形成相互垂直的X方向的焦線和Y方向的焦線，且在X方向的焦線和Y方向的焦線之間，形成呈中心對(duì)稱的像點(diǎn)，相機(jī)設(shè)在像點(diǎn)處。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)各種類型待測(cè)元件厚度的非接觸式測(cè)量，準(zhǔn)確度高，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；能方便準(zhǔn)確找到被測(cè)透鏡的中心；同時(shí)還能識(shí)別被測(cè)透鏡是否傾斜；進(jìn)一步，方便了安裝、簡(jiǎn)化了測(cè)量、防止了污染。?? |
