用于晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)控制結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110217035.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112828868A 公開(kāi)（公告）日 2021-05-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN112828868A 申請(qǐng)公布日 2021-05-25
分類號(hào) B25J9/00;B25J19/00;B25J11/00 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 何瑞;郭梅;劉丹;韓浚源 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昀智科技（北京）有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中索知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡大成
地址 102300 北京市門頭溝區(qū)蓮石湖西路98號(hào)院5號(hào)樓703室-1（智創(chuàng)空間）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)控制結(jié)構(gòu)，包括支撐結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)；支撐結(jié)構(gòu)包括底板、基座和面板，基座為具有頂?shù)组_(kāi)口的中空腔體結(jié)構(gòu)，且內(nèi)壁設(shè)置有隔板，將基座分隔為頂層基座和底層基座，面板和底板分別安裝在基座上；驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)貫穿旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)并安裝在基座上；傳動(dòng)結(jié)構(gòu)安裝在基座上，包括第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)、第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和連接軸；連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接在基座上；第一傳動(dòng)結(jié)構(gòu)位于底層基座內(nèi)，并分別與連接軸底端和驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)固接；第二傳動(dòng)結(jié)構(gòu)位于頂層基座內(nèi)，并分別與連接軸頂端和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)固接。通過(guò)將傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在基座的頂層和底層，并與連接軸固接，本發(fā)明裝置結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，有很好的控制精度及運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性。