真空吸附式圓形末端夾持器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021227980.6 申請日 -
公開（公告）號 CN212161782U 公開（公告）日 2020-12-15
申請公布號 CN212161782U 申請公布日 2020-12-15
分類號 H01L21/683(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 何瑞;郭梅;劉丹;韓浚源 申請（專利權(quán)）人 昀智科技（北京）有限責任公司
代理機構(gòu) 北京中索知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 昀智科技（北京）有限責任公司
地址 102300北京市門頭溝區(qū)蓮石湖西路98號院5號樓703室-1（智創(chuàng)空間）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種真空吸附式圓形末端夾持器，包括:本體；法蘭,法蘭位于本體一端；和吸盤,吸盤位于本體另一端,并通過本體與法蘭呈一體結(jié)構(gòu),吸盤上開設(shè)有放射狀的溝槽，溝槽包括徑向環(huán)形放射狀的第一溝槽和徑向直線放射狀的第二溝槽,第二溝槽與第一溝槽相交。現(xiàn)有夾持器存在不易控制夾持力度，容易造成晶圓片的變形甚至破片的問題，而通過實施本實用新型的技術(shù)方案，將夾持器末端的吸盤與晶圓片之間的空氣抽出，形成負壓空間，利用大氣壓力將晶圓片穩(wěn)定的吸附在吸盤上。吸盤內(nèi)部的溝槽和紋路可以有效的擴大氣室與晶圓片的接觸范圍，提高晶圓片的受力區(qū)域和穩(wěn)定性，同時減小與晶圓片的直接接觸的面積，可滿足較高的潔凈度要求。??