真空吸附式圓形末端夾持器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021227980.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212161782U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212161782U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-15 |
| 分類號(hào) | H01L21/683(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 何瑞;郭梅;劉丹;韓浚源 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 昀智科技（北京）有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京中索知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 昀智科技（北京）有限責(zé)任公司 |
| 地址 | 102300北京市門(mén)頭溝區(qū)蓮石湖西路98號(hào)院5號(hào)樓703室-1（智創(chuàng)空間） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)一種真空吸附式圓形末端夾持器，包括:本體；法蘭,法蘭位于本體一端；和吸盤(pán),吸盤(pán)位于本體另一端,并通過(guò)本體與法蘭呈一體結(jié)構(gòu),吸盤(pán)上開(kāi)設(shè)有放射狀的溝槽，溝槽包括徑向環(huán)形放射狀的第一溝槽和徑向直線放射狀的第二溝槽,第二溝槽與第一溝槽相交?，F(xiàn)有夾持器存在不易控制夾持力度，容易造成晶圓片的變形甚至破片的問(wèn)題，而通過(guò)實(shí)施本實(shí)用新型的技術(shù)方案，將夾持器末端的吸盤(pán)與晶圓片之間的空氣抽出，形成負(fù)壓空間，利用大氣壓力將晶圓片穩(wěn)定的吸附在吸盤(pán)上。吸盤(pán)內(nèi)部的溝槽和紋路可以有效的擴(kuò)大氣室與晶圓片的接觸范圍，提高晶圓片的受力區(qū)域和穩(wěn)定性，同時(shí)減小與晶圓片的直接接觸的面積，可滿足較高的潔凈度要求。?? |
