真空吸附式叉形末端夾持器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021228005.7 申請日 -
公開（公告）號 CN212331075U 公開（公告）日 2021-01-12
申請公布號 CN212331075U 申請公布日 2021-01-12
分類號 B25J15/06 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 何瑞;郭梅;劉丹;韓浚源 申請（專利權(quán)）人 昀智科技（北京）有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中索知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 昀智科技（北京）有限責(zé)任公司
地址 102300 北京市門頭溝區(qū)蓮石湖西路98號院5號樓703室-1（智創(chuàng)空間）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種真空吸附式叉形末端夾持器,包括：本體；法蘭,法蘭位于本體一端；和吸盤,吸盤位于本體另一端,并通過本體與法蘭呈一體結(jié)構(gòu),吸盤的端緣部開設(shè)有叉形缺口。目前行業(yè)中常使用中心接觸的方式來拾取晶圓片，但對于大尺寸，超薄晶圓片來說，僅僅依靠中間接觸，會造成晶圓的邊緣區(qū)域受自重影響而下垂，造成整片晶圓片的變形，同時也會降低晶圓片在搬運(yùn)過程中的穩(wěn)定性。通過實(shí)施本實(shí)用新型的技術(shù)方案，吸盤為叉形結(jié)構(gòu)，與晶圓片接觸時，能有效防止晶圓片邊緣下垂；通過叉形吸盤上三個溝槽的設(shè)置，保證夾持器在拾取大尺寸、超薄晶圓片時可以向整個晶圓面提供穩(wěn)定而均勻的吸附力和支撐，從而保證晶圓片在搬運(yùn)過程中的穩(wěn)定性。