真空吸附式環(huán)形末端夾持器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011517093.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112606031A | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112606031A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | B25J15/06(2006.01)I | 分類 | 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手; |
| 發(fā)明人 | 何瑞;郭梅;劉丹;韓浚源 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 昀智科技（北京）有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京中索知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 胡大成 |
| 地址 | 102300北京市門頭溝區(qū)蓮石湖西路98號(hào)院7號(hào)樓306室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開一種真空吸附式環(huán)形末端夾持器，包括：法蘭和吸盤；法蘭，用于安裝外部結(jié)構(gòu)；吸盤包括第一吸盤和第二吸盤,第一吸盤和第二吸盤相對(duì)設(shè)置呈環(huán)形結(jié)構(gòu),并分別與法蘭的兩端連接呈一體結(jié)構(gòu)。通過實(shí)施本發(fā)明的技術(shù)方案，環(huán)形吸盤通過三個(gè)觸盤與晶圓片的邊緣區(qū)域接觸，形成三點(diǎn)的穩(wěn)定接觸，可以有效提高吸盤對(duì)晶圓片整個(gè)表面的支撐，避免晶圓片的變形，提高夾持晶圓片的穩(wěn)定性；三個(gè)溝槽通過各自的抽氣孔與氣道連通，共同使用相同的氣源，形成穩(wěn)定均勻的吸附力從晶圓片的邊緣區(qū)域來吸附晶圓；在環(huán)形吸盤上還設(shè)置有限位塊，在搬運(yùn)過程中因事故或意外導(dǎo)致晶圓片與吸盤松脫時(shí)，對(duì)晶圓片起到限位和保護(hù)的作用。?? |
