一種單晶爐摻雜裝置及單晶爐
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120384601.2 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN214496544U | 公開(公告)日 | 2021-10-26 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN214496544U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-26 |
分類號(hào) | C30B15/04(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
發(fā)明人 | 李帥;吳海嘯;劉小明;武建華;高萬里 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 內(nèi)蒙古和光新能源有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 內(nèi)蒙古欣洋瑞專利代理有限公司 | 代理人 | 劉永珍 |
地址 | 010010內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市土默特左旗沙爾沁鎮(zhèn)沙爾沁工業(yè)園愛邇電子產(chǎn)業(yè)園內(nèi) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種單晶爐摻雜裝置及單晶爐,其中單晶爐摻雜裝置包括活動(dòng)卡接的連接部和預(yù)制料盒,在進(jìn)行摻雜時(shí),母合金可由預(yù)制料盒的進(jìn)料口放入盒內(nèi),之后將連接部的卡塊通過預(yù)制料盒的卡塊插口插入從而封閉預(yù)制料盒,即可實(shí)現(xiàn)母合金放置空間的密封性,避免母合金被惰性氣體的氣流帶走;同時(shí)預(yù)制料盒采用了硅材質(zhì),將母合金送入硅液時(shí)預(yù)制料盒也會(huì)隨之熔化,既可簡(jiǎn)化摻雜過程,也可有效保證母合金的全部摻入。本實(shí)用新型的單晶爐摻雜裝置通過簡(jiǎn)單的升降即可實(shí)現(xiàn)母合金的摻雜,不僅能使母合金穩(wěn)定進(jìn)入硅液,避免濺起硅液;而且相比于長(zhǎng)晶放肩的方法,可極大的節(jié)省時(shí)間,提高摻雜效率,降低摻雜成本,十分便捷。 |
