一種硅芯圓棒的生產(chǎn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110613613.2 申請日 -
公開(公告)號 CN113322515A 公開(公告)日 2021-08-31
申請公布號 CN113322515A 申請公布日 2021-08-31
分類號 C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B28/10(2006.01)I;C11D1/28(2006.01)I;C11D3/22(2006.01)I;C11D3/20(2006.01)I;C11D3/60(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李帥;吳海嘯;劉小明;武建華;陳曉明;高萬里 申請(專利權(quán))人 內(nèi)蒙古和光新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京精金石知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 宋秀蘭
地址 010000內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)沙爾沁工業(yè)區(qū)開放大街審圖中心主樓3007-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于硅芯制備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種硅芯圓棒的生產(chǎn)方法。所述方法,包括對粒徑為0.5mm?1mm和1mm?3mm的多晶硅碎料混合進(jìn)行清洗后再熔融、拉晶等步驟形成硅芯圓棒。這種方法制備的硅芯雜質(zhì)含量少,品質(zhì)高,能夠減少隱裂率,降低生產(chǎn)成本。