一種高純度氮化鋁粉體及氮化鋁粉體提純方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910243035.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110015648B 公開（公告）日 2021-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN110015648B 申請(qǐng)公布日 2021-05-04
分類號(hào) C01B21/072 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 周振翔;陳建榮;田庭燕;何敬暉;崔松滿 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京中材人工晶體研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙奕
地址 100018 北京市朝陽區(qū)東壩紅松園1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種高純度氮化鋁粉體及氮化鋁粉體提純方法。利用還原氣體對(duì)Al粉與AlN粉的混合粉體所在的合成腔體進(jìn)行高溫氣洗處理，用于去除所述合成腔體內(nèi)的氧氣；真空狀態(tài)下，在第一提純溫度下，去除所述混合粉體雜質(zhì)中的氫氧化物，在第二提純溫度下，去除所述混合粉體雜質(zhì)中的碳，在第三提純溫度下，利用所述Al蒸汽去除所述混合粉體雜質(zhì)中的氧化鋁。提純方法簡(jiǎn)單，通過雜質(zhì)去除順序及相應(yīng)提純步驟的合理設(shè)計(jì)，加之Al粉的加入，有效抑制了提純過程中AlN粉體的分解，減少原料的損耗，通過高頻燃燒紅外吸收法和惰氣脈沖紅外熱導(dǎo)法測(cè)試得本發(fā)明所得氮化鋁粉體的碳含量為42PPM，氧含量為220PPM，純度高。