OLED蒸鍍制程用精密金屬遮罩

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920703417.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN210163514U 公開（公告）日 2020-03-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN210163514U 申請(qǐng)公布日 2020-03-20
分類號(hào) C23C14/24 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 蔣國忠;宋榮華;高遠(yuǎn);王志安 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西聯(lián)創(chuàng)致光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江西省專利事務(wù)所 代理人 江西聯(lián)創(chuàng)致光科技有限公司
地址 330029 江西省南昌市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)京東大道168號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種OLED蒸鍍制程用精密金屬遮罩，包括遮罩本體，遮罩本體由遮罩本體無效區(qū)和遮罩本體有效孔洞開口區(qū)組成，遮罩本體有效孔洞開口區(qū)內(nèi)部開有基準(zhǔn)孔洞，其特征在于，遮罩本體有效孔洞開口區(qū)外層孔洞及有效孔洞開口區(qū)次外層孔洞的孔徑小于基準(zhǔn)孔洞，有效孔洞開口區(qū)外層孔洞的孔徑為基準(zhǔn)孔洞的25%~50%，有效孔洞開口區(qū)次外層孔洞的孔徑為基準(zhǔn)孔洞的50%~75%。本實(shí)用新型的OLED蒸鍍制程用精密金屬遮罩，通過將有效孔洞開口區(qū)外層孔洞及有效孔洞開口區(qū)次外層孔洞的孔徑改小，使得遮罩本體有效孔洞開口區(qū)邊緣的無效區(qū)間距增大，從而能提高有效孔洞開口區(qū)邊界的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，大大降低有效孔洞開口區(qū)邊界的折傷不良率。