OLED蒸鍍用精密金屬遮罩

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920691316.8 申請日 -
公開（公告）號 CN210134157U 公開（公告）日 2020-03-10
申請公布號 CN210134157U 申請公布日 2020-03-10
分類號 C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 蔣國忠;宋榮華;高遠;王志安 申請（專利權）人 江西聯(lián)創(chuàng)致光科技有限公司
代理機構 江西省專利事務所 代理人 江西聯(lián)創(chuàng)致光科技有限公司
地址 330029 江西省南昌市高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)京東大道168號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種OLED蒸鍍用精密金屬遮罩，其特征在于，金屬基材上均勻設置結構相同的凹陷區(qū)，凹陷區(qū)是側面為弧形的圓臺體空腔，圓臺體空腔的大端面開在金屬基材的第一主表面上，圓臺體空腔的小端面在金屬基材內；孔洞的外端面開在金屬基材的第二主表面上，孔洞的內端面與圓臺體空腔的小端面為共同端面；圓臺體空腔大端面、小端面與金屬基材縱向截面相交成兩端點，該兩端點的連線與金屬基材第一主表面、第二主表面成45?65度蒸鍍角。本實用新型是透過蝕刻激光復合制作法所制作出來的，因其第二主表面與孔洞開口的側邊壁面接近垂直無斜坡，其交界處無尖點，結構相對穩(wěn)定，且孔洞大小的精度達到≤±2um，蒸鍍角達到45?65度。