基于芯片檢測的缺陷識別方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111653122.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114416978A 公開（公告）日 2022-04-29
申請公布號 CN114416978A 申請公布日 2022-04-29
分類號 G06F16/35（2019.01）I;G06F16/36（2019.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 顧黎明 申請（專利權(quán)）人 蘇州知瑞光電材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州市權(quán)航專利代理有限公司 代理人 張佳文
地址 215500江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)賢士路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例提供了一種基于芯片檢測的缺陷識別方法及系統(tǒng)，通過獲取目標(biāo)芯片檢測單元的芯片檢測數(shù)據(jù)，并依據(jù)芯片檢測數(shù)據(jù)，以及目標(biāo)芯片檢測單元對應(yīng)的終止芯片時空域節(jié)點(diǎn)的芯片時空域節(jié)點(diǎn)的芯片歷史缺陷活動簇，配置芯片時空域節(jié)點(diǎn)對應(yīng)的基礎(chǔ)缺陷分析數(shù)據(jù)，然后依據(jù)芯片時空域節(jié)點(diǎn)的芯片歷史缺陷活動簇確定芯片時空域節(jié)點(diǎn)的缺陷數(shù)據(jù)中對應(yīng)所述目標(biāo)芯片檢測單元中的缺陷類別標(biāo)簽信息，從而添加目標(biāo)芯片檢測單元的缺陷識別策略信息以進(jìn)行缺陷識別。如此，依據(jù)芯片檢測數(shù)據(jù)并結(jié)合每個芯片時空域節(jié)點(diǎn)的在先缺陷識別數(shù)據(jù)，對目標(biāo)芯片檢測單元進(jìn)行缺陷識別，可以提高缺陷識別的有效性。