晶圓片的烘干機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320813796.3 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN203629225U 公開（公告）日 2014-06-04
申請公布號(hào) CN203629225U 申請公布日 2014-06-04
分類號(hào) F26B11/00(2006.01)I;F26B7/00(2006.01)I 分類 干燥;
發(fā)明人 張榮勤;羅惠英;宋京;丁國建;魏文生 申請（專利權(quán)）人 天津中環(huán)新光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津三元專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 天津中環(huán)新光科技有限公司
地址 300385 天津市西青區(qū)津港公路微電子工業(yè)區(qū)畢升道2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種晶圓片的烘干機(jī)，包括：設(shè)在烘干箱上部的電機(jī)、設(shè)在烘干箱中的噴氣嘴、設(shè)在烘干箱上的上蓋、設(shè)在上蓋上的出氣口以及設(shè)在烘干箱底部的排水口；該烘干箱的上部設(shè)置一通風(fēng)櫥，電機(jī)固定在通風(fēng)櫥的頂部；電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上連接有一連接桿，該連接桿延伸至烘干箱內(nèi)，連接桿的端部懸吊一花籃，花籃的底部設(shè)置一用于放置有晶圓片的托盤。本實(shí)用新型操作簡單，不僅有效地解決了烘干過程中，晶圓片干燥不均勻的問題，而且，晶圓片還不易產(chǎn)生斷裂；同時(shí)，提高了晶圓片穩(wěn)定性。