一種離子源離子噴口裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020046816.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211238154U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211238154U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-11 |
| 分類號(hào) | H01J37/08(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 毛念新;黃翔鄂;嚴(yán)仲君 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海嘉森真空科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海三方專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳瑋 |
| 地址 | 201801上海市嘉定區(qū)博學(xué)南路1015弄9號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種離子源離子噴口裝置，將蓋板的一端通過(guò)螺栓固定安裝推桿，推桿的一端活動(dòng)安裝有氣缸，氣缸推動(dòng)推桿移動(dòng)，使得推桿帶動(dòng)蓋板移動(dòng)，進(jìn)而使得蓋板帶動(dòng)活動(dòng)桿移動(dòng)，使得活動(dòng)桿繞第二銷軸和第一銷軸的軸心線轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而通過(guò)活動(dòng)桿的轉(zhuǎn)動(dòng)使得蓋板能夠沿水平方向移動(dòng)，以使得當(dāng)箱體需要封閉時(shí)，蓋板通過(guò)氣缸的驅(qū)動(dòng)向噴出口的一側(cè)移動(dòng)以與噴出口相抵，當(dāng)需要對(duì)箱體內(nèi)的部件進(jìn)行維修或維護(hù)時(shí)，蓋板通過(guò)氣缸的驅(qū)動(dòng)向遠(yuǎn)離噴出口的一端移動(dòng)，以將箱體打開(kāi)，從而方便對(duì)箱體內(nèi)的部件進(jìn)行維修或維護(hù)，氣缸的驅(qū)動(dòng)方便實(shí)現(xiàn)，且驅(qū)動(dòng)過(guò)程穩(wěn)定，易于實(shí)現(xiàn)。?? |
