低熱輻射真空鍍膜機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720873664.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN207091505U 公開（公告）日 2018-03-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN207091505U 申請(qǐng)公布日 2018-03-13
分類號(hào) C23C14/24 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 毛念新;嚴(yán)仲君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海嘉森真空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海卓冉律師事務(wù)所 代理人 李鋒
地址 201800 上海市嘉定區(qū)曹安路3652號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種低熱輻射真空鍍膜機(jī)，其包括鍍膜箱等，加熱器位于鍍膜箱的頂端內(nèi)壁上，鍍膜箱與主閥的一側(cè)之間通過(guò)百葉窗連接，主閥的底端與冷凝泵相連接，氣缸與基板之間通過(guò)連桿連接，水冷擋板位于百葉窗的側(cè)面上，排氣口位于百葉窗的底端上，真空泵與吸盤連接，側(cè)蓋位于主閥的另一側(cè)上，管道與冷凝泵的底端連接，管道位于框架上。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置水冷擋板，有效屏蔽了對(duì)冷凝泵的熱輻射，確保冷凝泵的正常運(yùn)作，保障抽真空效率。