用于防污膜材料的電阻蒸發(fā)源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721195496.8 申請日 -
公開（公告）號 CN207483838U 公開（公告）日 2018-06-12
申請公布號 CN207483838U 申請公布日 2018-06-12
分類號 C23C14/26 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 毛念新;嚴(yán)仲君 申請（專利權(quán)）人 上海嘉森真空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海卓冉律師事務(wù)所 代理人 李鋒
地址 201800 上海市嘉定區(qū)曹安路3652號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于防污膜材料的電阻蒸發(fā)源，其包括蒸發(fā)舟等，蒸發(fā)舟位于電極的一端，電極的另一端與電極棒的一端連接，電極棒的另一端連接金屬接線端子，加熱器位于電極棒的上方，第一冷卻水路位于金屬接線端子的一側(cè)，加熱器位于金屬接線端子的一側(cè)，第一冷卻水路和第二冷卻水路相連通，金屬接線端子位于第二冷卻水路的一側(cè)，第二冷卻水路位于電極內(nèi)，上螺帽位于下螺帽的上方，上螺母位于下螺母的上方，上螺帽位于上螺母的上方，下螺母位于下螺帽的上方，連接孔位于金屬接線端子上且位于電極的一側(cè)。本實(shí)用新型能夠有效控制加熱的溫度，始終使蒸發(fā)舟溫度保持在防污膜的蒸發(fā)溫度范圍內(nèi)，保證防污膜材料可以均勻蒸發(fā)形成均勻的鍍膜效果。