一種可調(diào)式磁場裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020046677.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212025446U | 公開（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申請公布號 | CN212025446U | 申請公布日 | 2020-11-27 |
| 分類號 | C23C14/35(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 毛念新;黃翔鄂;嚴(yán)仲君 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海嘉森真空科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海三方專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳瑋 |
| 地址 | 201801上海市嘉定區(qū)博學(xué)南路1015弄9號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體來說是一種可調(diào)式磁場裝置，包括冷卻塊、磁鐵支架、磁鐵蓋板、圓形磁鐵和磁控固定板，其特征在于：所述冷卻塊由槽形內(nèi)框體組成，所述冷卻塊內(nèi)部設(shè)有磁鐵支架，所述磁鐵支架內(nèi)部設(shè)有若干圓形磁鐵，所述磁鐵支架上端設(shè)有磁鐵蓋板，所述磁鐵蓋板上端設(shè)有磁控固定板，磁鐵支架與磁控固定板采用輕便的材質(zhì)使得整體更換與調(diào)節(jié)更為方便，且鋁材與塑料也杜絕了生銹帶來的各種問題，通過改動(dòng)圓形磁鐵的數(shù)量來改變每個(gè)電磁場方向和磁通量的大小，從而提高了沉積速度，增加了鍍膜的穩(wěn)定性，滿足了工藝穩(wěn)定等問題，使得鍍膜的厚度更加均勻，本實(shí)用新型不但提高了靶材的利用率，降低了設(shè)備的投入成本。?? |
