干法刻蝕機夾具座

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320884238.6 申請日 -
公開（公告）號 CN203760434U 公開（公告）日 2014-08-06
申請公布號 CN203760434U 申請公布日 2014-08-06
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 宋道新;萬福旺;張振興 申請（專利權(quán)）人 山東天信光伏新能源有限公司
代理機構(gòu) 東營雙橋?qū)＠碛邢挢熑喂?/td> 代理人 羅文遠
地址 257091 山東省東營市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)淮河路79號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種干法刻蝕機夾具座。其技術(shù)方案是：包括酸槽、左下支架、第一聚偏氟乙烯管、右下支架、左上支架、第二聚偏氟乙烯管、右上支架，所述的酸槽的中部安設(shè)有左下支架、右下支架、左上支架、右上支架，所述的左下支架和右下支架上固定第一聚偏氟乙烯管，所述的左上支架、右上支架上固定第二聚偏氟乙烯管；所述的第一聚偏氟乙烯管和第二聚偏氟乙烯管組成刻蝕平面。有益效果是：通過夾具座的改造，硅片在放置的過程中整齊的程度得到了保障，從而保障了硅片在干刻過程中刻蝕邊緣的寬度，極大程度了降低了過刻片的產(chǎn)生降低了硅片的返工率和失效、低效片的產(chǎn)生。