一種刻蝕加壓噴淋清洗器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620287925.3 申請日 -
公開（公告）號 CN205657044U 公開（公告）日 2016-10-19
申請公布號 CN205657044U 申請公布日 2016-10-19
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊洪軍;鞠靖;張振興;萬福旺 申請（專利權(quán)）人 山東天信光伏新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 東營雙橋?qū)＠碛邢挢?zé)任公司 代理人 羅文遠(yuǎn)
地址 257000 山東省東營市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)淮河路79號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種刻蝕加壓噴淋清洗器。其技術(shù)方案是：在硅片的上部設(shè)有上清洗裝置，在硅片的下部設(shè)有下清洗裝置，在第一水刀管路的右側(cè)設(shè)有第一水汽混合加壓裝置，在第一水刀管路的下側(cè)設(shè)有第一水刀，在第一水刀上設(shè)有多個(gè)第一噴霧頭，在第二水刀管路的右側(cè)設(shè)有第二水汽混合加壓裝置，在第二水刀管路的上側(cè)設(shè)有第二水刀，在第二水刀上設(shè)有多個(gè)第二噴霧頭，霧化座的出液端設(shè)有霧化蓋，在霧化蓋的中心設(shè)有出液孔，以出液孔為圓心的外周設(shè)有環(huán)槽。本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型在硅片的上部和下部均設(shè)有清洗裝置，清洗裝置上加設(shè)有水汽混合加壓裝置，噴霧頭噴出的噴霧為扇形，這樣，節(jié)省了去離子水，降低了費(fèi)用，并且清洗效果好。