一種刻蝕用臭氧發(fā)生器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201621416481.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206328148U 公開（公告）日 2017-07-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN206328148U 申請(qǐng)公布日 2017-07-14
分類號(hào) C01B13/10;H01L31/18 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 楊洪軍;鞠靖;張振興;萬(wàn)福旺 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東天信光伏新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 東營(yíng)雙橋?qū)＠碛邢挢?zé)任公司 代理人 羅文遠(yuǎn)
地址 257000 山東省東營(yíng)市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)淮河路79號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種刻蝕用臭氧發(fā)生器。其技術(shù)方案是：包括第一臭氧發(fā)生裝置和第二臭氧發(fā)生裝置，在第一高壓陶瓷管上纏繞有第一高壓線圈，在第一高壓陶瓷管的右端連接第一變壓器，在第二高壓陶瓷管上纏繞有第二高壓線圈，在第二高壓陶瓷管的右端連接第二變壓器，所述的第一臭氧發(fā)生裝置和第二臭氧發(fā)生裝置通過PLC控制器控制。本實(shí)用新型的有益效果是：降低了費(fèi)用，節(jié)省了設(shè)備成本，且設(shè)有兩個(gè)臭氧發(fā)生裝置，第一臭氧發(fā)生裝置和第二臭氧發(fā)生裝置通過PLC控制器控制交替工作，避免高壓陶瓷管燒壞，一臺(tái)臭氧發(fā)生裝置工作時(shí)，另一臺(tái)臭氧發(fā)生裝置通過氧氣稀釋，降低溫度，達(dá)到穩(wěn)定長(zhǎng)時(shí)間工作的目的。