MEMS電磁繼電器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200710119273.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN100552855C 公開（公告）日 2009-10-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN100552855C 申請(qǐng)公布日 2009-10-21
分類號(hào) H01H51/01(2006.01)I;H01H50/16(2006.01)I;H01H50/44(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 尤政;李慧娟;張高飛;楊建中 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京同方華創(chuàng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100084北京市100084信箱82分箱清華大學(xué)專利辦公室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 MEMS電磁繼電器，屬于繼電器技術(shù)和MEMS技術(shù)領(lǐng)域。為解決現(xiàn)有微電磁繼電器體積大、功耗高，不能適用微型自動(dòng)檢測(cè)儀器及微型航空航天器對(duì)小體積、智能化、低功耗電磁繼電器的需求，本發(fā)明公開了一種MEMS電磁繼電器，采用三層結(jié)構(gòu)，自上而下依次是上層硅基底、下層硅基底、永磁體；上層硅基底中空，中間通過(guò)兩個(gè)扭梁支撐一個(gè)扭板形成扭擺結(jié)構(gòu)，扭板最下層是活動(dòng)接觸電極；下層硅基底表面的凹槽中設(shè)有兩個(gè)平面螺旋線圈，在兩個(gè)平面螺旋線圈之上覆蓋有絕緣層，絕緣層上設(shè)有兩對(duì)固定接觸電極，每對(duì)固定接觸電極含有兩個(gè)相互間隔的獨(dú)立的固定接觸電極。本發(fā)明可以大規(guī)模陣列，并且可以與控制電路集成在同一基底上。