一種等離子刻蝕機(jī)的介質(zhì)窗勻溫裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122064579.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215896306U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215896306U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01J37/32（2006.01）I;H01L21/3065（2006.01）I;H05K7/20（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 劉海洋;郭頌;劉小波;張瑤瑤;王鋮熠;張霄;胡冬冬;許開(kāi)東 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京魯汶半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 彭英 |
| 地址 | 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號(hào)4幢2層203 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于刻蝕工藝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種等離子刻蝕機(jī)的介質(zhì)窗勻溫裝置，本裝置包括散熱風(fēng)扇和散熱風(fēng)扇屏蔽罩，散熱風(fēng)扇安裝在散熱風(fēng)扇屏蔽罩內(nèi)，每個(gè)散熱風(fēng)扇的出風(fēng)面均朝向加熱器中心區(qū)域；每個(gè)散熱風(fēng)扇屏蔽罩的朝向屏蔽罩頂面中心點(diǎn)的一端與屏蔽罩鉸接；散熱風(fēng)扇屏蔽罩底面所在平面與介質(zhì)窗所在平面相交；散熱風(fēng)扇屏蔽罩底面與介質(zhì)窗中垂線之間夾角為A，A＜90°。還包括安裝孔、安裝板、調(diào)節(jié)螺釘、調(diào)節(jié)螺母，安裝板設(shè)于散熱風(fēng)扇屏蔽罩上；調(diào)節(jié)螺釘?shù)倪h(yuǎn)離螺帽的一端向下依次穿過(guò)安裝孔、安裝板；調(diào)節(jié)螺母安裝在調(diào)節(jié)螺釘?shù)倪h(yuǎn)離螺帽的一端，調(diào)節(jié)螺母配合在安裝板的背離螺帽的一側(cè)。本實(shí)用新型控制陶瓷介質(zhì)窗中心和邊緣區(qū)域溫度的均一性。 |
