一種用于離子束刻蝕機(jī)開合門的連桿鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020980937.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213175232U 公開（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN213175232U 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) E05D3/18;H01J37/32 分類 鎖；鑰匙；門窗零件；保險(xiǎn)箱;
發(fā)明人 郭頌;王鋮熠;程實(shí)然;劉海洋;張瑤瑤;張軍;胡冬冬;許開東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京魯汶半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 曹佩佩
地址 100176 北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于離子束刻蝕機(jī)開合門的連桿鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，包括腔體和安裝在腔體上的腔門，所述腔門的一側(cè)通過(guò)鉸鏈組件安裝在腔體上，在鉸鏈組件安裝處設(shè)有水平導(dǎo)向組件；所述水平導(dǎo)向組件包括第三固定件、直線導(dǎo)軌和滑塊；所述第三固定件固定安裝在腔體外壁上，所述直線導(dǎo)軌的一端固定連接在第三固定件上，所述滑塊的末端固定在腔門上，滑塊在直線導(dǎo)軌上滑動(dòng)。本實(shí)用新型公開的一種用于離子束刻蝕機(jī)開合門的連桿鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，通過(guò)水平導(dǎo)向組件將腔體門平直拉離腔體至最遠(yuǎn)處后，再將腔體門翻轉(zhuǎn)打開，將目前不定向的腔體門開合結(jié)構(gòu)進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)軌跡的限定，解決了目前腔體門開合容易損壞門內(nèi)零部件、對(duì)操作要求高的問(wèn)題。