一種晶圓掃描噴嘴清洗槽

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021130986.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213162175U 公開(kāi)（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN213162175U 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 分類 清潔;
發(fā)明人 鄒志文;華強(qiáng);侯永剛;黃奔;孟慶國(guó);劉杰;崔虎山;許開(kāi)東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京魯汶半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 王美章
地址 100176 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓掃描噴嘴清洗槽，包括：槽體、設(shè)置在槽體外壁上的進(jìn)液接頭、設(shè)置在槽體底部的排液接頭，還包括：隔膜泵，通過(guò)下排管路與所述排液接頭連接。本實(shí)用新型一種晶圓掃描噴嘴清洗槽，在純水槽溢流和下排增加一個(gè)隔膜泵保證管路處于一個(gè)弱真空的狀態(tài)，從而有利于UPW的快速溢流和直排作業(yè)。