一種法拉第屏蔽裝置、等離子體刻蝕系統(tǒng)及其使用方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010469381.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113745084A 公開（公告）日 2021-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN113745084A 申請(qǐng)公布日 2021-12-03
分類號(hào) H01J37/32（2006.01）I;H01J37/02（2006.01）I;H01J37/305（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H05B1/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭頌;劉海洋;王鋮熠;程實(shí)然;劉小波;張軍;胡冬冬;許開東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京魯汶半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 肖鵬
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號(hào)4幢2層203
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種法拉第屏蔽裝置、等離子體刻蝕系統(tǒng)及其使用方法，法拉第屏蔽裝置包括法拉第屏蔽板和貼置在法拉第屏蔽板下端面的電阻絲；法拉第屏蔽板包括導(dǎo)電環(huán)和多個(gè)輻射對(duì)稱連接在導(dǎo)電環(huán)外周的導(dǎo)電瓣?duì)罴浑娮杞z的外表面設(shè)置有絕緣導(dǎo)熱層；刻蝕工藝時(shí)，電阻絲通電加熱。本發(fā)明當(dāng)刻蝕工藝時(shí)，導(dǎo)通加熱電路與電阻絲，使電阻絲通電溫度升高，加熱介質(zhì)窗，減少產(chǎn)物的沉積量；由于電阻絲與介質(zhì)窗直接接觸，加熱效率高，熱量散失少，簡(jiǎn)化了設(shè)備結(jié)構(gòu)；法拉第屏蔽板位于射頻線圈與電阻絲之間形成屏蔽，可防止射頻線圈與電阻絲之間產(chǎn)生耦合及放電；加熱電源的輸出端經(jīng)濾波電路單元濾波后，連接至電阻絲，有效防止射頻線圈與電阻絲之間產(chǎn)生耦合。