一種等離子刻蝕機(jī)及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010354739.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113571399A 公開（公告）日 2021-10-29
申請公布號 CN113571399A 申請公布日 2021-10-29
分類號 H01J37/305（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I;H05B1/02（2006.01）I;H05B3/02（2006.01）I;H05B3/10（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭頌;劉海洋;王鋮熠;李娜;劉小波;張軍;胡冬冬;許開東 申請（專利權(quán)）人 北京魯汶半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 王美章
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種等離子刻蝕機(jī)及其使用方法，該等離子刻蝕機(jī)包括一刻蝕腔體和一加熱板；刻蝕腔體的敞開端固定一陶瓷介質(zhì)窗；陶瓷介質(zhì)窗的上方固定一產(chǎn)生等離子體的等離子體耦合線圈；加熱板固定在一屏蔽罩內(nèi)；屏蔽罩的下端敞開；屏蔽罩位于刻蝕腔體的上方且固定在刻蝕腔體上；加熱板固定在陶瓷介質(zhì)窗朝向等離子體耦合線圈的表面；加熱板上開設(shè)用于供等離子體穿過的預(yù)留間隙；加熱板通過一供電電路連接一加熱電源。本發(fā)明將加熱板直接貼合在陶瓷介質(zhì)窗上，通過對加熱板通電以對陶瓷介質(zhì)窗直接進(jìn)行加熱。因此加熱板的加熱效率高，熱量散失少，避免屏蔽罩的過熱現(xiàn)象，無需在屏蔽罩外增設(shè)保護(hù)罩。