真空腔室及其多轉(zhuǎn)軸重載真空腔室鉸鏈

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020953038.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213573509U 公開(kāi)（公告）日 2021-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN213573509U 申請(qǐng)公布日 2021-06-29
分類號(hào) E05D3/18（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分類 鎖；鑰匙；門窗零件；保險(xiǎn)箱;
發(fā)明人 程實(shí)然;郭頌;劉海洋;王鋮熠;李娜;張軍;胡冬冬;許開(kāi)東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京魯汶半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 彭英
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空腔室及其多轉(zhuǎn)軸重載真空腔室鉸鏈裝置。鉸鏈裝置包括鉸鏈關(guān)節(jié)以及鉸鏈轉(zhuǎn)軸；所述的鉸鏈關(guān)節(jié)包括兩個(gè)固定鉸鏈關(guān)節(jié)以及設(shè)置在兩個(gè)固定鉸鏈關(guān)節(jié)之間的一個(gè)以上的活動(dòng)鉸鏈關(guān)節(jié)；各鉸鏈關(guān)節(jié)中，相鄰兩個(gè)鉸鏈關(guān)節(jié)的鉸接端，均樞接在同一根鉸鏈轉(zhuǎn)軸上；各鉸鏈關(guān)節(jié)的鉸接端所樞接的鉸鏈轉(zhuǎn)軸之間相互平行設(shè)置；活動(dòng)鉸鏈關(guān)節(jié)呈弧形設(shè)置，且活動(dòng)鉸鏈關(guān)節(jié)的弧面均外凸于所述的活動(dòng)鉸鏈關(guān)節(jié)兩端所樞接的鉸鏈轉(zhuǎn)軸的中心連線。因此，本實(shí)用新型開(kāi)合時(shí)，腔室門既可以沿某一轉(zhuǎn)軸伸縮，也可以沿某一轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，可實(shí)現(xiàn)腔室門拉伸開(kāi)合與旋轉(zhuǎn)開(kāi)合，從而減小負(fù)載旋出空間，使設(shè)備整體結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省設(shè)備空間。