一種半導(dǎo)體器件的焊錫厚度測量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011134281.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112304263B 公開(公告)日 2022-02-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN112304263B 申請(qǐng)公布日 2022-02-15
分類號(hào) G01B17/02(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 劉金龍;黃彩清 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳賽意法微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 代理人 楊莉莎
地址 518038廣東省深圳市福田區(qū)福保街道福田保稅區(qū)桃花路16號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體器件的焊錫厚度測量方法,包括基準(zhǔn)面確定步驟、測量基準(zhǔn)確定步驟、第一掃描步驟、第一計(jì)算步驟與第二計(jì)算步驟,其能夠在不損壞半導(dǎo)體器件的情況下對(duì)半導(dǎo)體器件的焊錫厚度進(jìn)行測量。