一種聲波諧振器件及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110512179.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113271081A 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN113271081A 申請公布日 2021-08-17
分類號 H03H9/17（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 陳潔 申請（專利權）人 蘇州福唐智能科技有限公司
代理機構 北京華際知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 葉宇
地址 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)2幢506
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種聲波諧振器件及其制造方法。該聲波諧振器件利用可激光活化物層進行激光活化形成由激光活化金屬層構成的高聲波阻抗層，其可以精確控制高聲波阻抗層的尺寸和位置，無需刻蝕，可以降低寄生電容且高聲波阻抗層的粘附性好，不易剝離；進一步的，高聲波阻抗層的側壁通過激光斜向的照射而形成具有一定傾斜角的光滑曲面，以此保證第二低聲波阻抗層的沉積質量，且能夠降低高聲波阻抗層邊緣位置的寄生電容。