一種諧振器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110512192.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113114148A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN113114148A 申請公布日 2021-07-13
分類號 H03H3/007（2006.01）I;H03H9/24（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 陳潔 申請（專利權）人 蘇州福唐智能科技有限公司
代理機構 北京華際知識產權代理有限公司 代理人 葉宇
地址 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)2幢506
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種諧振器及其制造方法。該諧振器利用凹槽來形成布拉格反射鏡，可以實現(xiàn)高聲波阻抗層在不通過蝕刻的方式實現(xiàn)對應于壓電部件功能區(qū)，以此，防止壓電部件的第一電極或第二電極與金屬材質的高聲波阻抗層產生寄生電容；特別的，本發(fā)明的凹槽具有傾斜的側壁且還可以具有臺階部，這樣形成諧振開口可以防止支撐層斷裂，保證器件的可靠性，同時能夠抵抗來自平坦層應力。