熱解氮化硼板材的制備方法及該方法所用的氣相沉積爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110323008.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102330068A 公開(kāi)（公告）日 2012-01-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN102330068A 申請(qǐng)公布日 2012-01-25
分類號(hào) C23C16/34(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙林;趙鳳鳴 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常熟東星電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常熟市常新專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 蘇州明林光電科技有限公司;安徽芯一信息材料有限公司
地址 215513 江蘇省蘇州市常熟市常熟經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)沿江工業(yè)區(qū)馬橋路6號(hào)馬橋工業(yè)坊22棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種熱解氮化硼板材的制備方法及該方法所用的氣相沉積爐，屬于特種陶瓷材料制備技術(shù)領(lǐng)域。該方法采用具有進(jìn)氣機(jī)構(gòu)并且在爐內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)的模具的氣相沉積爐，原料氣體為N2、NH3和BCl3的混合氣體，其中：N2、NH3和BCl3氣體的mol比為30-10∶10-1∶8-0.5，氣相沉積爐的爐溫為1700～2000℃，保溫時(shí)間為14-26h，所述的旋轉(zhuǎn)模具在所述的氣相沉積爐內(nèi)呈傾斜設(shè)置。優(yōu)點(diǎn)：由于將旋轉(zhuǎn)的模具在氣沉積爐內(nèi)呈斜設(shè)置，從而能使原料氣體沿傾斜角度向上偏流，在流動(dòng)過(guò)程中將溝槽填平，使得到的熱解氮化硼板材表面平整，有利于顯著減小殘余應(yīng)力和提高合格率；提供的沉積爐結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能保障熱解氮化硼板材的所述技術(shù)效果的全面體現(xiàn)。