一種真空狀態(tài)可調(diào)的碳管爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201620319531.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN205561541U 公開(kāi)（公告）日 2016-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN205561541U 申請(qǐng)公布日 2016-09-07
分類號(hào) F27B17/00(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 董家海;曹新華;周孟忠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常熟東星電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215500 江蘇省蘇州市常熟經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)科創(chuàng)園1號(hào)樓305
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉一種真空狀態(tài)可調(diào)的碳管爐，包括爐體，爐體內(nèi)設(shè)有掛架，爐體為圓柱形爐體，爐體的上端設(shè)有頂板，爐體的下端設(shè)有底板，頂板、底板和爐體組成密閉艙體；爐體內(nèi)設(shè)有內(nèi)襯板，內(nèi)襯板內(nèi)側(cè)設(shè)有加熱管；底板上設(shè)有艙門；底板上側(cè)的爐體內(nèi)設(shè)有真空壓力傳感器；頂板的上端設(shè)有真空泵，爐體的側(cè)面設(shè)有若干個(gè)抽氣口，抽氣口通過(guò)真空管與真空泵連通；每個(gè)抽氣口上設(shè)有一個(gè)電控真空閥；爐體側(cè)壁上設(shè)有一個(gè)調(diào)壓口，調(diào)壓口上設(shè)有一個(gè)電控真空閥。本實(shí)用新型能夠在氣相沉積作業(yè)中便捷調(diào)控真空度，確保作業(yè)過(guò)程中真空度的穩(wěn)定，提高沉積作業(yè)的質(zhì)量和產(chǎn)品質(zhì)量，確保最佳的氣相沉積效果。