一種真空狀態(tài)可調的碳管爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620319531.1 申請日 -
公開（公告）號 CN205561541U 公開（公告）日 2016-09-07
申請公布號 CN205561541U 申請公布日 2016-09-07
分類號 F27B17/00(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 董家海;曹新華;周孟忠 申請（專利權）人 常熟東星電子材料有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 215500 江蘇省蘇州市常熟經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)科創(chuàng)園1號樓305
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉一種真空狀態(tài)可調的碳管爐，包括爐體，爐體內設有掛架，爐體為圓柱形爐體，爐體的上端設有頂板，爐體的下端設有底板，頂板、底板和爐體組成密閉艙體；爐體內設有內襯板，內襯板內側設有加熱管；底板上設有艙門；底板上側的爐體內設有真空壓力傳感器；頂板的上端設有真空泵，爐體的側面設有若干個抽氣口，抽氣口通過真空管與真空泵連通；每個抽氣口上設有一個電控真空閥；爐體側壁上設有一個調壓口，調壓口上設有一個電控真空閥。本實用新型能夠在氣相沉積作業(yè)中便捷調控真空度，確保作業(yè)過程中真空度的穩(wěn)定，提高沉積作業(yè)的質量和產品質量，確保最佳的氣相沉積效果。