一種熱解氮化硼用的沉積爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620348636.X 申請日 -
公開（公告）號 CN205556773U 公開（公告）日 2016-09-07
申請公布號 CN205556773U 申請公布日 2016-09-07
分類號 C23C16/44(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C01B21/064(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 董家海;曹新華;周孟忠 申請（專利權(quán)）人 常熟東星電子材料有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215500 江蘇省蘇州市常熟經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)園1號樓305
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉一種熱解氮化硼用的沉積爐，包括圓柱體形爐體，爐體的上端和下端分別設(shè)有頂蓋和底板，爐體為密封結(jié)構(gòu)，爐體的內(nèi)側(cè)設(shè)有加熱結(jié)構(gòu)，爐體中部放置有加工部件；爐體的側(cè)壁上設(shè)有若干個進氣管，爐體外側(cè)的每個進氣管上設(shè)有加熱器；加熱器與爐體之間的進氣管上設(shè)有氣流溫度感應(yīng)器；爐體的內(nèi)壁和底板上側(cè)分別設(shè)置有爐體溫度感應(yīng)器；爐體外側(cè)設(shè)有電控箱。本實用新型能夠通過加熱器對進氣管中的氣流進行加熱，確保輸入的氣流與爐體內(nèi)的溫度一致，從而使沉積作業(yè)均勻穩(wěn)定，提高沉積作業(yè)的質(zhì)量和產(chǎn)品質(zhì)量；同時，能夠高效監(jiān)測和調(diào)控爐體內(nèi)的溫度，確保最佳的作業(yè)效率和作業(yè)質(zhì)量。