一種氣相沉積爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020617180.5 申請日 -
公開（公告）號 CN201890928U 公開（公告）日 2011-07-06
申請公布號 CN201890928U 申請公布日 2011-07-06
分類號 C23C16/44(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙鳳鳴;趙林 申請（專利權(quán)）人 常熟東星電子材料有限公司
代理機構(gòu) 沈陽晨創(chuàng)科技專利代理有限責(zé)任公司 代理人 張晨
地址 110000 遼寧省沈陽市沈河區(qū)五愛街15-28樓1-13-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型的目的在于提供一種氣相沉積爐，該氣相沉積爐包括爐體、加熱體、進氣口、出氣口以及模具，進氣口在爐體底部或頂部，其特征在于：在爐體內(nèi)或爐體外設(shè)有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)由1~36個齒輪、轉(zhuǎn)盤、齒套、傘齒輪組、連接軸以及電機組成，電機通過傘齒輪組與轉(zhuǎn)盤相連，齒輪通過連接軸固定在轉(zhuǎn)盤上，齒套在所有齒輪外圍固定，并與齒輪嚙合，轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動帶動齒輪沿著圓盤式齒套旋轉(zhuǎn)，每個齒輪上都吊掛或直立一個模具，模具隨著齒輪的自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)實現(xiàn)了產(chǎn)品在爐內(nèi)的公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)。采用該氣相沉積爐制備熱解氮化硼制品，能夠提高PBN產(chǎn)品質(zhì)量及其生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。