生產(chǎn)氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉(zhuǎn)模塊

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201520020440.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN204509458U 公開(kāi)（公告）日 2015-07-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN204509458U 申請(qǐng)公布日 2015-07-29
分類(lèi)號(hào) C23C16/34(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙林;趙鳳鳴 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 常熟東星電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中譽(yù)威圣知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 常熟東星電子材料有限公司;安徽芯一信息材料有限公司
地址 215513 江蘇省蘇州市常熟經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)馬橋工業(yè)坊22棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種生產(chǎn)氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉(zhuǎn)模塊，包括沉積爐的爐體，爐體頂壁的吊盤(pán)上設(shè)有排氣口，還包括頂壁下方的階梯型上行外齒套，頂壁中央設(shè)有豎向的旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸下部圓周外側(cè)套接于階梯型上行外齒套的豎向中軸線上，旋轉(zhuǎn)軸下端的圓周外側(cè)通過(guò)鎖緊螺母與階梯型上行外齒套的下端固定連接；旋轉(zhuǎn)軸圓周外側(cè)的階梯型上行外齒套上設(shè)有若干個(gè)豎向呈環(huán)形并列設(shè)置的一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿和三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)模具的自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)同時(shí)旋轉(zhuǎn)，能夠使氮化硼制品的氣相沉積作業(yè)更加高效和均勻，提高生產(chǎn)效率，確保產(chǎn)品質(zhì)量；并且旋轉(zhuǎn)的能耗低、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工作成本和后期維護(hù)成本低，工作穩(wěn)定高效。