一種高純石墨氈的制備方法及晶硅爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011527046.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112695486A 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN112695486A 申請公布日 2021-04-23
分類號 D06C7/04 分類 織物等的處理；洗滌；其他類不包括的柔性材料;
發(fā)明人 劉軍波;杜武侃;谷元超 申請（專利權）人 寧晉晶興電子材料有限公司
代理機構 北京市萬慧達律師事務所 代理人 張一帆
地址 055550 河北省邢臺市寧晉縣高新技術開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種高純石墨氈的制備方法及晶硅爐，所述制備方法包括以下步驟：將石墨芯棒卷入碳氈中得碳氈卷；將碳氈卷置入爐壓小于30Pa的燒結爐中，進行分段控溫燒結；首先升溫至600?800℃，保溫100?140min，并同時向燒結爐內通入氬氣；再升溫至1850?1900℃，保溫200?280min；最后將燒結爐降溫至100℃以下，取出、展開并冷卻，即得高純石墨氈。所述晶硅爐采用該高純石墨氈作為隔熱保溫層。本發(fā)明提供的方法燒制出的石墨氈品質穩(wěn)定，雜質含量低，在單晶熱場內(1600℃)使用無揮發(fā)物溢出、石墨粉塵最小化、無流油現(xiàn)象，相較于市場上其他石墨氈更潔凈且具有更好的保溫性能。