一種水冷導(dǎo)流筒

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021250485.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213037872U 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN213037872U 申請公布日 2021-04-23
分類號 C30B15/00;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 閆廣寧;王建立;董永見 申請（專利權(quán)）人 寧晉晶興電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市萬慧達(dá)律師事務(wù)所 代理人 顧友
地址 055550 河北省邢臺市寧晉縣高新技術(shù)開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于制備硅單晶的水冷導(dǎo)流筒，涉及硅單晶棒拉晶設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。其包括導(dǎo)流筒主體、設(shè)于所述導(dǎo)流筒主體的水冷管道和用于固定所述水冷管道的固定環(huán)體，所述導(dǎo)流筒主體的內(nèi)壁包括散熱加強(qiáng)區(qū)和觀察區(qū)，所述散熱加強(qiáng)區(qū)安裝有若干個散熱片。本實(shí)用新型提供的一種水冷導(dǎo)流筒，能夠快速帶走固液面交接處的結(jié)晶潛熱，加快單晶生長，提高單晶產(chǎn)量和單晶拉速。