單晶硅生長(zhǎng)爐的二次加料裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021272964.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213388966U 公開（公告）日 2021-06-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN213388966U 申請(qǐng)公布日 2021-06-08
分類號(hào) C30B15/02;C30B29/06 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 劉軍波;牛照倫;王三朋 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧晉晶興電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市萬慧達(dá)律師事務(wù)所 代理人 張一帆
地址 055550 河北省邢臺(tái)市寧晉縣高新技術(shù)開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開單晶硅生長(zhǎng)爐的二次加料裝置，包括石英筒，所述石英筒的底部設(shè)有石英錐，所述石英錐與所述石英筒圍構(gòu)成硅料盛放區(qū)，所述石英筒中穿設(shè)有與其同軸設(shè)置的連桿，所述連桿的底端連接所述石英錐，所述連桿用于在外力的作用下推拉所述石英錐以儲(chǔ)料和卸料，其中，所述石英筒包括上筒和下筒，所述上筒和所述下筒可拆卸連接。本實(shí)用新型提供的二次加料裝置易于維護(hù)，且維護(hù)成本低。