加料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011517912.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112725880A 公開（公告）日 2021-04-30
申請公布號 CN112725880A 申請公布日 2021-04-30
分類號 C30B15/02;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 董永見;閆廣寧;牛照倫 申請（專利權(quán)）人 寧晉晶興電子材料有限公司
代理機構(gòu) 北京市萬慧達律師事務(wù)所 代理人 張一帆
地址 055550 河北省邢臺市寧晉縣高新技術(shù)開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種加料裝置，包括鉬桿、石英錐和護罩，鉬桿的一端具有頭部；石英錐內(nèi)開設(shè)有軸向貫通設(shè)置的安裝槽，所述安裝槽包括由錐頂?shù)藉F底依次設(shè)置的第一安裝槽和第二安裝槽，所述第一安裝槽與所述鉬桿相適配，所述第二安裝槽與所述頭部相適配，所述鉬桿穿設(shè)過所述第一安裝槽向上延伸，并通過所述頭部限位于所述第二安裝槽中；護罩可拆卸地安裝在所述石英錐的錐底，以將所述頭部封堵于所述石英錐內(nèi)部。本發(fā)明提供的加料裝置中鉬桿的頭部不會被高溫硅料氧化，也不會發(fā)生掉屑污染硅料的情況，可大大降低對硅料的污染，提升單晶硅的品質(zhì)。