一種硅片轉(zhuǎn)移裝置及硅片測(cè)試裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910236940.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109904103A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-06-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109904103A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-06-18 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/677（2006.01）I; H01L21/683（2006.01）I; H01L21/66（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 夏秋良; 范雪峰 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 新美光（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 蘇州新美光納米科技有限公司 |
| 地址 | 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城NW-20#107、108、109、110 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種硅片轉(zhuǎn)移裝置及硅片測(cè)試裝置，屬于半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域。硅片轉(zhuǎn)移裝置包括：本體、多個(gè)機(jī)械臂、吸附件。該多個(gè)機(jī)械臂分別獨(dú)立可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于本體。該多個(gè)機(jī)械臂中的每一個(gè)機(jī)械臂包括桿體。其中，桿體的兩端分別與本體、吸附件連接，吸附件被構(gòu)造來(lái)吸附硅片且允許硅片選擇性地脫吸附。該轉(zhuǎn)移裝置具有多種工作姿態(tài)，并且由此可以使控制的硅片進(jìn)行多種姿態(tài)之間的按需轉(zhuǎn)換，以便達(dá)到配合適當(dāng)設(shè)備對(duì)硅片進(jìn)行諸如分選、檢測(cè)的操作。 |
