游星輪組合件
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201721763270.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN208895850U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-05-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN208895850U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-05-24 |
| 分類號(hào) | B24B37/28（2012.01）I; B24B37/08（2012.01）I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 馮光建; 夏秋良 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 新美光（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 蘇州新美光納米科技有限公司 |
| 地址 | 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城NW-20#107、108、109、110 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供游星輪組合件，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。涉及游星輪組合件，包括游星輪本體和治具，所述游星輪本體內(nèi)設(shè)置有用于放置治具的第一開(kāi)孔，所述治具與所述第一開(kāi)孔的內(nèi)壁固定；所述治具的外徑輪廓與所述第一開(kāi)孔的內(nèi)徑輪廓相適應(yīng)，所述治具鑲嵌在所述第一開(kāi)孔的內(nèi)壁上。采用本技術(shù)方案，能夠?qū)崿F(xiàn)游星輪在拋光機(jī)里面的長(zhǎng)時(shí)間轉(zhuǎn)動(dòng)，使待拋光件可以鑲嵌到治具中，而治具可以鑲嵌到游星輪本體中，這樣在后續(xù)拋光時(shí)，只需要更換不同的治具，而只需要一副游星輪就能夠?qū)崿F(xiàn)同樣的拋光。 |
